ASML成功交付首台光刻机，来看全球EUV极紫外光刻机技术新进展
根据智慧芽研发情报库显示，当前我国关于“极紫外光刻”技术拥有者主要有：
中国科学院微电子研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
哈尔滨工业大学
中国科学院上海光学精密机械研究所
北京理工大学等
极紫外光源被行业赋予拯救摩尔定律的使命，我国对极紫外光刻技术的探索从未停止。
小编今天仅展示了全球极紫外光刻技术的最新申请专利数据信息，还有极紫外光刻相关技术譬如光刻胶相关研发，等待你来一探究竟！
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关于智慧芽
智慧芽是一家科技创新信息服务商，致力于为全球创新企业和创新生态人群提供服务，提供创新数据以洞察信息，提供创新工具促进敏捷协作，以开放合作构建创新生态，实现“连接创新，突破边界”的使命和价值。
以机器学习、计算机视觉、自然语言处理（NLP）等人工智能技术和大数据加工厂2.0的卓越能力为基础，智慧芽构建起丰富的产品和解决方案矩阵——面向知识产权人群提供包括专利数据库、知识产权管理系统在内的知识产权信息服务，面向研发人群提供研发情报库和竞争情报库，面向生物医药行业提供新药情报库、生物序列数据库、化学结构数据库等，面向金融机构提供企业科创力评估、产业技术链、专利价值评估等。此外，智慧芽还打造了智慧芽学社、咨询、创新研究中心等，为广泛的科技创新人群提供无限价值。
截至目前，智慧芽已经服务全球50多个国家超12000家客户，涵盖了高校和科研院所、生物医药、新材料、新能源、智能制造、通信电子、新能源汽车、半导体等50多个高科技行业。国内客户包括清华大学、北京大学、中科院、中国石化、海尔、美的、小米、宁德时代、小鹏汽车、大疆、药明康德、商汤科技、华大等；国际客户包括麻省理工学院、牛津大学、陶氏化学、戴森、Spotify等。